Шуаібов Олександр Камілович, Білак Юрій Юрійович, Русин Михайло Іванович. ГАЗОРОЗРЯДНА УЛЬТРАФІОЛЕТОВА ЛАМПА НА ГАЗОПАРОВІЙ СУМІШІ «ГЕЛІЙ-ЦИНК» ДЛЯ ЗАСТОСУВАНЬ В МІКРО-НАНОТЕХНОЛОГІЯХ. ERM [Internet]. 2023 Nov. 6 [cited 2026 Aug. 26];(4). Available from: https://ojs.publisher.agency/index.php/ERM/article/view/2393