ТЕЛЛУРИД СВИНЦА, ИМПЛАНТИРОВАННЫЙ ИОНАМИ ГАЛЛИЯ (Ga+)
Keywords:
отжиг, доза, имплантация, примесиAbstract
Изготовление пленок производилось в установке вакуумного напыления УВН – 2М, обеспечивающей в рабочем режима вакуум на уровне (2….3)10-6 мм рт.ст. Исходным материалом служили синтезированные в кварцевых ампулах неотожженные слитки п и Р - PbTe. Слиток дробился, измельчался до размера зерен 0,5мкм. Тщательно перемешанный порошок помещался в бункер, из которого через вибропитатель малыми порциями подавался в испаритель. Скорость подачи была такова, что вся предыдущая порция полностью испарялась до поступления следующей.
В качестве подложек использовалась слюда мусковит. Пленки получались методом дискретного испарения и представляли собой блочные монокристаллы, ориентированные осью ˂///˃ перпендикулярно плоскости слоя. Метод дискретного испарения вместе с гомогенизацией пара позволял воспроизводить в конденсате состав шихты и свести к минимуму потери легколетучих компонентов.
Published
How to Cite
Issue
Section
License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-ShareAlike 4.0 International License.